致力提高工厂及分析性实验室效率 助推中国半导体行业快速发展

3月21日，科学服务领域的世界领导者赛默飞世尔科技(以下简称：赛默飞)亮相于上海举办的SEMICON CHINA2019展会，现场发布展示了其最新一代的产品及半导体综合解决方案，新品致力于提高工厂及分析性实验室效率，进一步助力中国半导体事业的发展。

赛默飞亮相SEMICON CHINA 2019展会现场

自2014年6月《国家集成电路产业发展推进纲要》正式发布，中国的半导体行业拉开了高速发展的序幕。近年来，应用可编程芯片(FPGA)、人工智能云端以及边缘运算端芯片等一系列前沿技术的半导体新产品开发正如火如荼地进行——半导体产业的技术节点也在不断提高，实现更先进的制程工艺、更高的良率、更大的产能成为半导体行业迫切需要面对和解决的问题。赛默飞中国区总裁艾礼德(Tony Acciarito)表示：“新兴技术市场趋势以及政策支持正为中国半导体和电子科技产业带来了前所未有的机遇，秉持‘扎根中国、服务中国’的发展战略，我们期待利用自身在半导体行业的丰富经验及优势，携手本土合作伙伴，共同推动中国半导产业的发展和创新。”

在此次SEMICON CHINA2019上，赛默飞从多个维度综合展现了其在实验室方案、失效分析、环境分析以及生产支持方面的综合能力以及一体化解决方案。其中以Thermo ScientificHelios 5为代表的一众新品，也通过SEMICON CHINA2019这个绝佳的平台第一次在中国与业界的朋友们见面。

赛默飞首发推出最新一代Thermo ScientificHelios 5，这款全新的先进的小型聚焦离子束扫描电子显微镜将用于纳米材料的表征和分析。Helios 5产品系列的发布解决了目前越来越多的半导体技术挑战，包括更小的几何形状，3D结构，新材料和大量的分析样品以提高产量和根本原因分析。随着半导体产业从7nm技术节点转向5nm技术节点，Helios 5 TEM和Atom Probe样品制备软件提高对最先进的原子级的结构和成分信息的获得能力。它可以在纳米尺度上实现最高质量的表面和3D信息，并且可以最精确地定位感兴趣的区域。

赛默飞最新一代Thermo Scientific™ Helios 5

Thermo Scientific™ ELITE™ 系统

近几年来，半导体工业已经普遍接受使用ELITE (Enhanced Lock In Thermal Emission) 实现电性失效分析定位的工作。ELITE具有极佳的灵敏度，可以帮助传统EMMI / OBIRCH 检测的不足。ELITE 还可以作为非破坏性检测，对于封装后的元件，分析失效点深度的位置。除了先进制程和封装的需求，针对功率元件在车用电子的应用，ELITE还支持高电压的测试。

工程师现场讲解及演示Thermo Scientific™ELITE™ 系统

Thermo Scientific™ Nicolet™ iG50 FT

赛默飞Nicolet旗下 iS50/iG50 系列硅片分析系统为硅片的研究或者大规模制造的质量控制提供了灵活强大的解决方案。 Nicolet iS50/iG50 系列硅片分析系统主要可以应用于氧、碳含量分析以及外延层 (EPI) 厚度测量。除此之外，iS50/iG50还可以应用于钝化层分析，例如：PSG、BSG、PBSG 中 PB 含量、Si中H的含量测定以及FSG。

Thermo Scientific™ Nicolet™ iG50

Thermo Scientific™ Nicolet™ iN10

赛默飞Nicolet旗下 iN10是一种直观、创新、集成的一体化傅里叶变换显微红外光谱仪，具有安装简便、性能卓越、光谱质量高的特点。Nicolet iN10 显微红外光谱仪在半导体微电子领域主要应用于：固化胶的固化率测定、电子材料的分析与表征、显示材料的剖析与表征以及异物分析。

Thermo Scientific™ Nicolet™ iN10

Thermo Scientific™ iCAP™ TQs ICP-MS

支持三重四极杆技术的 Thermo Scientific™ iCAP™ TQs ICP-MS 是一种高性能 ICP-MS，适用于在与半导体行业相关的多种挑战性基质中进行痕量元素超痕量定量检测。在不牺牲其作为灵敏、易用的工作台仪器所具备的检测能力的前提下，具有三重四极杆技术出色的干扰去除能力，可更好地对各种最具挑战性的基质中的元素杂质进行检测。由于 iCAP TQs ICP-MS 占地面积小，加上具有简化的工作流程并支持自动化方法开发而特别易于使用，使其成为用于确保关键生产工艺一致性和提高半导体硅片加工产量而进行在线质量控制的理想检查工具。

Thermo Scientific™ iCAP™ TQs ICP-MS

Thermo Scientific

性能可靠的多用途制热/冷却恒温循环器，可为需要的小型实验室到大型工业过程，提供制热/冷却恒温循环的关键应用，最高可达24000瓦的制热/冷却恒温循环能力。本产品提供创新平台，可配置的设计，易于操作，以及卓越的性能。

Thermo Scientific™ NESLAB ThermoFlex

Thermo Scientific

Thermo Fisher Scientific 飞纳台式扫描电镜是半导体行业中高效的检测分析仪器。主要用于工业质量控制、缺陷分析和产品研发。可以选配 飞纳自动倾斜旋转样品杯或 U 中心样品杯观察半导体样品。通过倾斜旋转样品，能够展现独特的3D图像，分析样品上的隐藏特征，帮助用户把控产品质量。

Thermo Scientific™ Phenom™ ProX

展会现场，赛默飞展示了ELITE的实体机器并进行了DEMO演示，吸引了大批专业及相关人士的驻足了解问询。数量众多的同行以及访客在展台现场聆听了现场工程师讲解赛默飞在半导体行业的综合解决方案，并共同分享探讨了半导体行业内的前沿技术与最新市场动态。