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讲义培训真空知识抽气速率单位换算及泵种类及其工作范围
时间:2013-10-29 19:10来源:未知 浏览次数:
1、真空区域划分 真空区域 压强范围 托(Torr) 帕(Pa) 低真空 760~10 101325~1333 中真空 10~10 -3 1333~1.3310 -1 高真空 10 -3 ~10 -8 1.3310 -1 ~10 -6 超高真空 10 -8 ~10 -12 10 -6 ~10 -10 极高真空 ＜10 -12 ＜10 -10 单位 米(m) 英尺(ft) 英寸(in) 1
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